简析一下无尘净化车间净化需哪些设备

返回列表 来源: 发布日期:2020-03-09

用于控制产品(如硅芯片等)在大气中的洁净度、温湿度,使产品在良好的环境中生产、制造。按照国际惯例,根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。

  第一,进风系统。新风过滤箱,中央净化空调(中央净化空调要分为初效/中效/高效三个过滤段)末端有高效送风口。有必要装净化增压箱。

  第二,回风系统。回风口,过滤初效器,中效回风箱。

  第三,缓冲区。缓冲区门安装电子互锁,洁净储衣柜,空气清新机。

  第四,风淋室、货淋室、传递窗,主要传递小物品。

  第五,局部需要达到10-1000级安装工作台,层流罩(FFU),洁净棚(可移式净化工作棚),自净器。测洁净室洁净度用,激光尘埃粒子计数器

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